Фильтр
По популярности (убывание)
По популярности (убывание)
Диаметр пластин
150мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер
PVD
В наличии
Диаметр пластин
200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер
PVD/ПХО/ПХТ
В наличии